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特種氣體中單元高純氣體的品種及用途

特種氣體是由兩大類(lèi)氣體組成的。一類(lèi)為單元高純氣體，另一類(lèi)為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體，根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn)，特種氣體廠(chǎng)家，匯總起來(lái)共有227種，可分成五個(gè)類(lèi)別: 一、電子氣體，共85種(序號(hào)1～85)，占總數(shù)的36.3％; 二、有機(jī)氣體，共61種(序號(hào)86～146)，占總數(shù)的27.8％; 三、無(wú)機(jī)氣體，共35種(序號(hào)147～181)，占總數(shù)的15.5％;

深度提純難度大，而純度是電子氣體質(zhì)量重要的指標(biāo)。在芯片加工過(guò)程中，微小的氣體純凈度差異將導(dǎo)致整個(gè)產(chǎn)品性能的降低甚至報(bào)廢。電子氣體純度往往要求5N-6N級(jí)別，還要將金屬元素凈化到10-9級(jí)至10-12級(jí)。氣體純度每提高一個(gè)層次對(duì)純化技術(shù)就提出了更高的要求，技術(shù)難度也將顯著上升。以硅1烷為例，將其純度由4N提純到6N中間有漫長(zhǎng)的道路。對(duì)于混合氣體而言，特種氣體供應(yīng)商，混合配比的精度也是下游生產(chǎn)廠(chǎng)商關(guān)心的指標(biāo)。氣體純化技術(shù)主要有吸附法、精餾法、膜分離法等。

電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國(guó)外對(duì)高純氣體的分析經(jīng)歷了離線(xiàn)分析(off-line)、在線(xiàn)分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個(gè)階段。我國(guó)在高純氣體分析方面，淄博特種氣體，也已進(jìn)入在線(xiàn)分析階段，且分析檢測(cè)的靈敏度高，可以實(shí)現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測(cè)試 。然而，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測(cè)量，一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，特種氣體價(jià)格，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測(cè)手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級(jí)，因此，對(duì)測(cè)定時(shí)使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測(cè)方法以及分析測(cè)試儀器(靈敏度和檢測(cè)限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測(cè)方法。

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